佳能推出 FPD 曝光设备 MPAsp

　　5 月 28 日消息，推出佳能中国官方宣布，光设将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的推出 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H。



　　▲ MPAsp-E1003H

　　FPD 即平板显示器（Flat panel display），光设大家常见的推出产品一般可分为 LCD、OLED、光设LED、推出PDP、光设ELD、推出FED、光设投影显示等不同类型。推出



　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）

　　佳能表示，光设这款产品采用了投影光学系统，推出可实现 1.5μm（L／S）的光设高分辨率，且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍，推出使生产能力将进一步提升。

　　据介绍，该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”，可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、用于大型电视等的 65 英寸面板。

　　在一块玻璃基板上，如果生产智能手机面板等产品，此前需要 6shot 曝光，而新产品仅需 4shot 曝光，生产性能大幅提升。此外，在生产车载横向大型特殊显示器时，也可以做到无接缝 2shot 曝光。且，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%，tact time 提升约 14%，有效提升了量产效率。




　　佳能表示，新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光），还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。

　　此外，新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换，从而适配各类制造工序的曝光。

　　这款新产品在形成圆弧光的机构中，配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control）。通过自动控制光线通过的狭缝宽度，可以改变曝光光线的强度分布，从而实现稳定的曝光线宽。




　　同时，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck，首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。佳能表示，MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力，制造质量更加稳定。